TiSiN-Ag磁控溅射薄膜的微结构和性能

• 作者: 管斌 许俊华
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 工学
• 关键词: TiSiN-Ag薄膜 磁控溅射 薄膜微结构 膜力学性能 摩擦磨损
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 1-4,27
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 3449字
• 语种: 中文

摘要

为了研究Ag元素对TiSiN薄膜结构及性能的影响,通过磁控溅射法制备了不同Ag含量的TiSiN-Ag薄膜,采用EDS,XRD,XPS,TEM,CSM纳米压痕仪,UMT-2摩擦磨损仪和BRUKER三维形貌仪对薄膜的成分、微结构、力学性能和摩擦磨损性能进行了研究.结果表明:TiSiN-Ag薄膜是由面心立方TiN相、非晶Si3N4相和面心立方单质Ag相组成,单质Ag相的存在阻碍TiN晶粒的生长;随Ag原子分数的增加,单质Ag相增加,导致TiSiN-Ag薄膜的硬度和弹性模量逐渐下降;单质Ag相具有润滑作用,使薄膜硬度降低,磨痕中的硬质颗粒减少,摩擦系数从0.70降至0.39,磨损率也逐渐降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许俊华	江苏科技大学材料科学与工程学院	60	269	9.0	13.0
2	管斌	江苏科技大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0