应力对蓝宝石衬底上生长二氧化钒薄膜结构和光电性能的调控

• 作者: 宗海涛 康朝阳 张聪 曹国华 李明 梁珊珊
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光沉积 VO2 应力 光电性能
• 年，卷（期）: 2018,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1225-1231
• 页数: 7页
• 分类号: O484
• 字数: 4251字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15541/jim20180045

摘要

利用脉冲激光沉积技术在蓝宝石衬底上生长不同厚度的VO2薄膜,对薄膜的结构、表面形貌和光电性能进行研究.结果表明:所沉积的VO2薄膜为具有单晶性能、表面平整的单斜晶相的VO2薄膜,相变前后,方块电阻的变化可达到3～4个数量级,在波长为2500 nm的透过率变化最高可达56％,优化的可视透过率(Tlum)和太阳能调节率(ΔTsol)为43.2％和8.7％.薄膜受到的应力对VO2薄膜有重要影响,可以通过调节薄膜的厚度对VO2薄膜光电性能实现调控.当VO2薄膜厚度较小时,薄膜受到拉应力,拉应力能使相变温度显著降低,金属–绝缘体转变性能(MIT)不但与载流子浓度的变化相关,而且还受载流子迁移率变化的影响;当VO2薄膜厚度较大时,薄膜受到压应力,VO2薄膜的相变温度接近块体VO2的相变温度,MIT转变主要来自于载流子浓度在相变前后的变化,其载流子迁移率几乎不变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宗海涛	河南理工大学物理与电子信息学院	7	12	3.0	3.0
2	李明	河南理工大学物理与电子信息学院	24	58	4.0	6.0
3	梁珊珊	河南理工大学物理与电子信息学院	4	5	1.0	2.0
4	康朝阳	河南理工大学物理与电子信息学院	6	13	3.0	3.0
5	曹国华	河南理工大学物理与电子信息学院	10	33	3.0	5.0
6	张聪	河南理工大学物理与电子信息学院	2	7	2.0	2.0