TMAH湿法腐蚀工艺制备微台面结构

• 作者: 任霄峰
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 四甲基氢氧化铵(TMAH) 湿法腐蚀 微台面结构 凸角 黑点 循环速率 不均匀性
• 年，卷（期）: 2018,（7）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 526-531
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.2
• 语种: 中文

摘要

针对目前四甲基氢氧化铵(TMAH)湿法腐蚀工艺制备微台面结构工艺可控性差、需要添加添加剂、溶液使用周期短及工艺维护繁琐、无法实现大尺寸晶圆工程化应用等问题,研究了无添加剂时,微台面的腐蚀形貌与TMAH溶液质量分数和循环速率之间的关系,提升了大尺寸晶圆凸角腐蚀尺寸的均匀性及表面质量,6英寸(1英寸=2.54 cm)硅晶圆内,凸角腐蚀尺寸不均匀性小于5％,台面高度不均匀性小于3％,且腔体底部平整光亮,腐蚀速率较快,实现了工程化应用.当TMAH溶液pH值为12.2～12.6时,微台面结构制备工艺稳定可控、维护简单,实现了高质量微台面结构的可批量化生产.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任霄峰	中国电子科技集团公司第十三研究所	1	1	1.0	1.0