磁控溅射铂抑制镀银表面的二次电子发射

• 作者: 何鋆 俞斌 崔万照 杨晶 王琪 白春江 胡天存 谢贵柏
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 二次电子产额 二次电子倍增效应 金属薄膜 铂
• 年，卷（期）: 2018,（8）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 228-235
• 页数: 8页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.67.20172740

摘要

降低表面的二次电子产额是抑制微波部件二次电子倍增效应和提升功率阈?的有效途径之一,目前主要采用在表面构造陷阱结构和沉积非金属薄膜的方法降低二次电子产额,其缺点是会改变部件的电性能.针对此问题,采用在表面沉积高功函数且化学惰性的金属薄膜来降低二次电子产额.首先,采用磁控溅射方法在铝合金镀银样片表面沉积100 nm铂,测量结果显示沉积铂后样片的二次电子产额最大?由2.40降至1.77,降幅达26％.其次,用相关唯象模型对二次电子发射特性测量数据进行了拟合,获得了在40—1500 eV能量范围内能够准确描述样片二次电子产额特性的Vaughan模型参数,以及在0—50 eV能量范围内能够很好地拟合二次电子能谱曲线的Chung-Everhart模型参数.最后,将获得的实验数据和相关拟合参数用于Ku频段阻抗变换器的二次电子倍增效应功率阈?仿真研究,结果表明通过沉积铂可将部件的功率阈?由7500 W提升至36000 W,证实了所提方法的有效性.研究结果为金属材料二次电子发射特性的研究提供实验数据参考,对抑制大功率微波部件二次电子倍增效应具有参考价?.