电镀镍磷层及其在薄膜剥离中的应用

• 作者: 丑修建 何剑 张晶 杨玉华 石树正 穆继亮 高翔
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 柔性压电薄膜 电镀 剥离 硅(Si)
• 年，卷（期）: 2018,（7）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 515-520,531
• 页数: 7页
• 分类号: TQ153.2
• 字数: 1580字
• 语种: 中文

摘要

利用柔性压电薄膜为能量采集器供电在微电子机械系统(MEMS)领域应用越来越广泛,通过电镀应力层剥离制备薄膜是近年来广受关注的一种方法.通过在氯化镍电镀液中加入不同质量浓度的磷离子和控制不同的电流密度,在铜片上电镀得到不同的镍磷镀层.对镀层进行共聚焦显微镜观测、台阶仪测量厚度、镍磷层内应力计算、X射线衍射(XRD)和X射线能谱仪(EDS)分析,结果表明:电流密度恒定为10 mA/cm2,磷离子质量浓度由0～0.04 g/L的变化过程中,镍磷层内应力由112 MPa增加到322 MPa,而磷离子质量浓度高于0.04 g/L后,内应力减小,镀层含磷原子数分数逐渐升高;磷离子质量浓度恒定为0.04 g/L,电流密度由5 mA/cm2增加到20 mA/cm2时,镍磷层内应力从181 MPa增加到343 MPa,而电流密度高于20 mA/cm2后,内应力逐渐减小,镀层含磷原子数分数逐渐降低.之后通过控制电镀条件利用电镀镍磷层应力从硅基底成功剥离制备硅薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	穆继亮	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	21	66	4.0	8.0
2	石树正	河北建筑工程学院机械工程学院	25	29	2.0	4.0
3	杨玉华	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	18	71	4.0	7.0
4	张晶	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	13	48	5.0	6.0
5	何剑	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	21	25	3.0	3.0
6	高翔	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	4	5	2.0	2.0