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摘要:
搭建了基于激光干涉仪测量原理的三轴微位移测量系统,对大范围二维纳米位移台的控制及非线性校准进行实验研究.介绍了双频激光干涉仪测量系统的构成;编写了纳米位移台的控制程序和激光干涉仪数据采集程序;阐述了位移台的非线性校准方法,并通过实验对比了多项式三阶拟合和三阶分段拟合的差别,验证了校准方法的准确性.实验表明:使用三阶分段拟合的校准方法效果更好,校准前,x轴的最大非线性误差为4.052 μm,y轴的最大非线性误差为2.927 μm;校准后,x轴的最大非线性误差为15 nm,y轴的最大非线性误差为17 nm,仅为原始非线性误差的1%.
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文献信息
篇名 大范围二维纳米位移台的控制及非线性校准的实验研究
来源期刊 计量学报 学科 工学
关键词 计量学 纳米位移台 非线性校准 激光干涉仪
年,卷(期) 2018,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 771-776
页数 6页 分类号 TB92
字数 3267字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1000-1158.2018.06.04
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 陈本永 浙江理工大学机械与自动控制学院 63 361 11.0 17.0
2 高思田 93 567 11.0 19.0
3 李琪 21 48 4.0 5.0
4 黄鹭 13 16 2.0 3.0
5 周奇 浙江理工大学机械与自动控制学院 1 2 1.0 1.0
9 刘炳锋 北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院 1 2 1.0 1.0
10 连笑怡 5 6 2.0 2.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
计量学
纳米位移台
非线性校准
激光干涉仪
研究起点
研究来源
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相关学者/机构
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计量学报
月刊
1000-1158
11-1864/TB
大16开
北京1413信箱
2-798
1980
chi
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