大范围二维纳米位移台的控制及非线性校准的实验研究

• 作者: 刘炳锋 周奇 李琪 连笑怡 陈本永 高思田 黄鹭
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 纳米位移台 非线性校准 激光干涉仪
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 页码范围: 771-776
• 页数: 6页
• 分类号: TB92
• 字数: 3267字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2018.06.04

摘要

搭建了基于激光干涉仪测量原理的三轴微位移测量系统,对大范围二维纳米位移台的控制及非线性校准进行实验研究.介绍了双频激光干涉仪测量系统的构成;编写了纳米位移台的控制程序和激光干涉仪数据采集程序;阐述了位移台的非线性校准方法,并通过实验对比了多项式三阶拟合和三阶分段拟合的差别,验证了校准方法的准确性.实验表明:使用三阶分段拟合的校准方法效果更好,校准前,x轴的最大非线性误差为4.052 μm,y轴的最大非线性误差为2.927 μm;校准后,x轴的最大非线性误差为15 nm,y轴的最大非线性误差为17 nm,仅为原始非线性误差的1％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈本永	浙江理工大学机械与自动控制学院	63	361	11.0	17.0
2	高思田		93	567	11.0	19.0
3	李琪		21	48	4.0	5.0
4	黄鹭		13	16	2.0	3.0
5	周奇	浙江理工大学机械与自动控制学院	1	2	1.0	1.0
9	刘炳锋	北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院	1	2	1.0	1.0
10	连笑怡		5	6	2.0	2.0