KPFM测试参数对表面电势测量的影响

• 作者: 冯凯 王美玲 白刚 菅傲群
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 开尔文探针力显微镜(KPFM) 高定向热解石墨(HOPG) 滤波器阶数 灵敏度 驱动值
• 年，卷（期）: 2018,（12）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 922-926
• 页数: 5页
• 分类号: TH742
• 字数: 1678字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2018.12.011

摘要

开尔文探针力显微镜(KPFM)是一种可以对材料表面电势进行纳米级成像的工具,是研究纳米材料表面特性的一种重要手段.高定向热解石墨(HOPG)具有表面光滑、导电性好的特点,在原子力显微镜(AFM)的KPFM模式下,向HOPG表面施加不同电压,测量HOPG的表面电势,以结果作为参照,采用控制变量法分别对比了滤波器阶数、灵敏度和驱动值三种参数对表面电势测量的影响.实验结果表明:滤波器阶数、灵敏度和驱动值均对表面电势的测量有不同程度的影响,不同程度增加滤波器阶数、灵敏度和驱动值都可以起到提升信噪比的作用,其中灵敏度的提升对信号的影响最为显著.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王美玲	太原理工大学微纳系统研究中心	3	3	1.0	1.0
5	冯凯	太原理工大学微纳系统研究中心	3	7	1.0	2.0
9	白刚	太原理工大学微纳系统研究中心	2	0	0.0	0.0