原子力显微镜电场辅助纳米沉积加工

• 作者: 刘增磊 刘忠超 李密 杨旭 王栋 高爱莲
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜(AFM) 纳米焊接 纳米加工 场蒸发沉积 纳米器件
• 年，卷（期）: 2018,（12）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 910-916
• 页数: 7页
• 分类号: TP242.3|TB383
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2018.12.009

摘要

主要研究了基于原子力显微镜(AFM)的场蒸发沉积加工方法,分析了影响沉积加工的因素.通过选择适当的针尖和样品间的距离、加工电压和探针运动速度等参数,实现了纳米点、纳米线及纳米字符等纳米结构的加工.纳米点加工中,加工参数保持不变,纳米点的高度变化不大,平均高度约为1.5 nm.纳米线加工中,通过改变加工电压和探针运动速度,加工得到了不同高度的纳米线,其高度最小约为1.5 nm,最高可达65 nm.总体上,沉积加工重复性、可控性较好.然而,沉积加工的起始位置容易产生高度过大的点,并且在纳米线与纳米字符的加工中,加工结果呈现规律性的偏移.分析表明,以上问题主要与探针形貌以及大气环境有关.此外,加工电压过高时也容易导致高度不均匀.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨旭	南阳理工学院电子与电气工程学院	12	13	2.0	3.0
2	刘忠超	南阳理工学院电子与电气工程学院	37	116	6.0	8.0
3	高爱莲	南阳理工学院电子与电气工程学院	11	22	3.0	4.0
4	刘增磊	南阳理工学院电子与电气工程学院	11	22	3.0	4.0
5	王栋	山东交通学院轨道交通学院	5	9	2.0	3.0
6	李密	中国科学院沈阳自动化研究所	9	3	1.0	1.0