CrAlMoN梯度薄膜的微观结构及力学性能研究

• 作者: 巫少龙 潘健
• 来源期刊: 铸造技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 CrAlMoN薄膜 微观结构 力学性能
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 材料保护及表面工程
• 页码范围: 914-916
• 页数: 3页
• 分类号: TG174|TG113
• 语种: 中文
• DOI: 10.16410/j.issn1000-8365.2018.04.048

摘要

采用磁控溅射技术,在单晶Si片和M2工具钢表面沉积CrAlMoN梯度薄膜,利用SEM、EDS、XRD、划痕仪、纳米压痕仪研究了CrAlMoN梯度薄膜的微观结构、膜/基结合力、硬度和弹性模量.结果表明,CrAlMoN梯度薄膜呈面心立方结构,薄膜的表面和截面结构紧凑致密.梯度结构的CrAlMoN薄膜具有高的膜/基结合强度,薄膜硬度和弹性模量分别达到24.13 GPa和342.33 GPa,力学性能明显优于CrAlN薄膜

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巫少龙		43	122	5.0	10.0
2	潘健		3	2	1.0	1.0