基于双层模型外延HgCdTe薄膜的霍尔测试

• 作者: 丛树仁 严顺英 俞见云 孔金丞 彭曼泽 李东升 李培源 李艳辉 杨春章 杨玉林 王燕 田立萍 郭沁怡
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 双层膜 MBE HgCdTe薄膜 霍尔参数 扩展不确定度
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 847-852
• 页数: 6页
• 分类号: TN215|TN304
• 字数: 4403字
• 语种: 中文

摘要

采用Petritz双层薄膜结构模型,用化学腐蚀的方法分离MBE外延双色HgCdTe薄膜,测试并验证了双层模型对中短双色MBE外延HgCdTe薄膜中各层的霍尔参数计算的有效性,给出了测量不确定度评定以及相对误差.实验表明,MBE外延双层HgCdTe薄膜中的中波薄膜层电导率及霍尔系数的扩展不确定度范围分别为0.33～0.41Ω·cm和61～113 cm3/C,置信概率为95％,与对比样品的中波膜层霍尔参数相比,载流子浓度及霍尔迁移率的相对误差分别小于20％和10％.