增强短波红外InGaAs探测器透过率的纳米光天线研究

• 作者: 姚鹏飞 李淘 李雪 邵秀梅 龚海梅
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: InGaAs光电探测器 纳米光天线 表面等离子体
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 843-846
• 页数: 4页
• 分类号: TN215
• 字数: 2248字
• 语种: 中文

摘要

过去几十年中,短波红外InGaAs探测器被广泛用于近红外探测系统中,通过将InGaAs光电探测器与纳米光天线结合可以增强光吸收并提高量子效率.然而,这种纳米光天线往往由聚焦离子束或电子束光刻制备而成,制备成本较高.本文介绍了一种更经济的沉积法来制备纳米光天线.用沉积法制备了纳米Ag颗粒阵列,Ag球平均半径为200 nm.研究了Ag纳米球阵列的表面等离子体效应对InGaAs光电探测器光吸收性能的影响,发现在整个近红外波段,InGaAs光电探测器帽层的透过率均显著提高.并且发现SiO2涂层激发了局域表面等离子体共振,分析了其对波长1μm附近的入射光的透过率增强效应.