X射线荧光光谱仪真空控制系统设计与实现

• 作者: 杨佳铭 邱忠义 麻硕
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: X射线荧光光谱仪 真空控制系统 自动压力控制
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 仪器研制与开发
• 页码范围: 65-67,119
• 页数: 4页
• 分类号: TH842
• 语种: 中文

摘要

基于X射线荧光光谱仪对测量环境真空度的需求,提出了一种带自动压力控制的真空控制系统.所设计的真空控制系统由智能传感器、控制芯片、上位机、执行机构和辅助电路组成,并设置两种工作模式.实验结果表明,控制系统在两种工作模式下运行正常,具有压力实时监控、系统故障检测等功能,并可以根据压力值改变真空泵的转速,从而达到节约能源的效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱忠义		7	42	3.0	6.0
2	杨佳铭		2	0	0.0	0.0
3	麻硕		5	3	1.0	1.0