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温和氢气等离子体对石墨烯的各向异性刻蚀
温和氢气等离子体对石墨烯的各向异性刻蚀
作者:
张秀梅
沈钢
肖少庆
顾晓峰
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
石墨烯
减薄
温和等离子体
拉曼
各向异性
摘要:
本文采用一种简单有效的方法对石墨烯进行处理,可将多层石墨烯减薄为单层或任意层.采用自主研发的温和等离子体系统,以氢气作为先驱气体对多层石墨烯进行处理,再对处理过的样品进行高温退火.研究表明,温和氢气等离子体能利用氢离子的轰击效应对顶层石墨烯进行刻蚀,刻蚀过程具有良好的各向异性,刻蚀后氮气环境下的高温退火能够有效修复刻蚀过程中产生的晶格缺陷,从而得到品质较好的单层与少层石墨烯.本研究为制备品质良好的单层及少层石墨烯提供了一种新的方法.
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各向异性
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磁等离子体
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光子晶体
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低偏压刻蚀
内容分析
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引文网络
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文献信息
篇名
温和氢气等离子体对石墨烯的各向异性刻蚀
来源期刊
材料科学与工程学报
学科
物理学
关键词
石墨烯
减薄
温和等离子体
拉曼
各向异性
年,卷(期)
2018,(6)
所属期刊栏目
研究论文
研究方向
页码范围
970-974,984
页数
6页
分类号
O539
字数
3605字
语种
中文
DOI
10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2018.06.021
五维指标
传播情况
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石墨烯
减薄
温和等离子体
拉曼
各向异性
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
材料科学与工程学报
主办单位:
浙江大学
出版周期:
双月刊
ISSN:
1673-2812
CN:
33-1307/T
开本:
大16开
出版地:
浙江杭州浙大路38号浙江大学材料系
邮发代号:
创刊时间:
1983
语种:
chi
出版文献量(篇)
4378
总下载数(次)
9
总被引数(次)
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