金刚线切割硅片制绒返工方法研究

• 作者: 崔龙辉 焦朋府 王森栋 王森涛
• 来源期刊: 煤
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚线 返工 制绒
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 实用技术
• 页码范围: 36-38
• 页数: 3页
• 分类号: TN304
• 字数: 2496字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2798.2018.04.013

摘要

文章使用制绒混合溶液对金刚线多晶硅片制程不良片进行制绒返工.方案通过调整制绒溶液浓度来控制刻蚀深度,通过补加制绒添加剂控制硅片表面反射率.实验分析了三种制绒返工方案所制电池片的外观形貌和电学参数,对比不同返工方案所做电池片的不良率.结果显示:通过稀释制绒溶液并且补加添加剂将制绒刻蚀深度控制在0.35μm左右,并且控制硅片表面反射率在25％以下,有利于改善返工电池片的转换效率和电池片良率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王森涛		13	6	1.0	2.0
2	焦朋府		14	3	1.0	1.0
3	王森栋		5	3	1.0	1.0
4	崔龙辉		2	0	0.0	0.0