全透明低回滞s-SWCNT/Ag NW薄膜晶体管的可控制备

• 作者: 余小芹 吕前进 吕正霞 张小品 李清文 邱松 金赫华 门传玲 高冰
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体型单壁碳纳米管 银纳米线 全透明薄膜晶体管 低回滞
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 675-681
• 页数: 7页
• 分类号: TN321.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2018.05.014

摘要

利用高纯度、高均一性的半导体型单壁碳纳米管(s-SWCNT)网络薄膜作为薄膜晶体管的沟道材料,以高透明度、低薄膜电阻的银纳米线(Ag NW)网络薄膜作为源、漏电极,在玻璃基底上制备了大面积、高透明度的碳纳米管薄膜晶体管阵列,并使用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)薄膜在器件表面通过干法封装获得了较低回滞的电子器件,得到了整体透明度达到82％以上的器件.提出的器件制备方法不仅制备材料易得,不需要高温过程,而且能够实现器件的大面积制备,对碳纳米管薄膜晶体管的全透明柔性化进程具有推进作用.