压电陶瓷微位移的光干涉测量与控制系统

• 作者: 张明达 李孟阳 杨毅彪 赵晓丹 陈智辉 齐艳强
• 来源期刊: 太原理工大学学报
• 关键词: 微位移测量 压电陶瓷致动器 迈克尔逊干涉 光路放大 开环控制
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 物理与光电工程·电气与动力工程
• 页码范围: 612-616
• 页数: 5页
• 分类号: E963
• 语种: 中文
• DOI: 10.16355/j.cnki.issn1007-9432tyut.2018.04.015

摘要

针对压电陶瓷的微位移检测,引入了基于多次反射的光路放大装置,有效提高了迈克尔逊干涉测量的分辨率.理论上分析了放大倍数、入射角和动镜定镜夹角的关系,并对光路的光学放大特性进行了仿真验证.同时搭建高精度光干涉位移测量系统,实现了压电陶瓷以22.6 nm为步长的驱动与检测.该装置结构简单、易于控制,可应用于光学滤波系统的精确调谐.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈智辉	太原理工大学物理与光电工程学院	7	8	2.0	2.0
5	张明达	太原理工大学物理与光电工程学院	6	5	1.0	2.0
9	赵晓丹	太原理工大学物理与光电工程学院	4	5	1.0	2.0
10	齐艳强	太原理工大学物理与光电工程学院	1	5	1.0	1.0
11	李孟阳	太原理工大学物理与光电工程学院	1	5	1.0	1.0