Rayleigh波与Love波双模式声波产生器件的建模及特性

• 作者: 巨永锋 文常保 洪吉童 牛涛涛
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 双模式 Rayleigh波 Love波 三维建模 质点位移
• 年，卷（期）: 2018,（12）
• 所属期刊栏目: 器件与技术
• 页码范围: 857-862,884
• 页数: 7页
• 分类号: TN65|TN602
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2018.12.001

摘要

针对Rayleigh波和Love波两种声波不能在同一声波器件中产生的不足,提出了一种Rayleigh波与Love波双模式声波产生器件结构和三维建模方案.该三维建模方案用有限元分析法逼近压电基片、叉指换能器及波导层等实际器件结构和尺寸.通过一个压电基片材料为128°YX-LiNbO3,波导层材料为ZnO,叉指换能器材料为Al电极的双模式声波产生器件三维模型实验,验证了该双模式声波产生器件的可行性.实验结果表明,在49～51 MHz的频率内,该双模式声波产生器件有一个Rayleigh波模态解和一个Love波模态解,其频率分别为49.5和49.7 MHz.在49.5 MHz处的Rayleigh波只存在y和Z方向质点位移的周期性变化,X方向的质点位移为0,且y方向位移与Z方向位移相位相差90°.在49.7 MHz处的Love波沿X方向传播,且只存在y方向的质点位移,没有其他方向的质点位移,此时X方向为该Love波的纯模方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巨永锋	长安大学电子与控制工程学院微纳电子研究所	142	1091	15.0	28.0
2	文常保	长安大学电子与控制工程学院微纳电子研究所	39	191	7.0	12.0
3	牛涛涛	长安大学电子与控制工程学院微纳电子研究所	3	0	0.0	0.0
4	洪吉童	长安大学电子与控制工程学院微纳电子研究所	3	1	1.0	1.0