提高Ni-Cr合金薄膜电阻稳定性的工艺研究

• 作者: 戚云娟 邓勇生
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: Ni-Cr合金薄膜 电阻 热处理 保护薄膜 电阻稳定性
• 年，卷（期）: 2018,（8）
• 所属期刊栏目: 膜层材料与技术
• 页码范围: 276-279
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 375字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.08.038

摘要

目的 通过改变沉积Ni-Cr合金薄膜厚度、增加保护薄膜及梯度升温热处理工艺,获得电阻稳定性良好的合金薄膜.方法 采用离子束溅射镀膜工艺,沉积160、230、300 nm厚的合金薄膜,并沉积200 nm厚的SiO2保护薄膜,采用梯度升温的方式对薄膜进行真空热处理.通过安捷伦数字繁用表测试试件热处理前后阻值的大小,通过差值计算出阻值变化量,并进行薄膜电阻稳定性研究.结果 与160 nm厚的合金薄膜的电阻变化相比,将厚度提高到300 nm,热处理前后阻值的变化从25?减小到2?.与没有保护膜的合金薄膜热处理前后的阻值变化相比,增加保护膜的阻值从76?减小到25?.与直接升温的薄膜热处理工艺相比,采用阶梯升温的方式进行薄膜热处理的薄膜电阻从46?减小到了25?,薄膜电阻稳定性提高.结论 合金膜厚的增加可减小薄膜的边界和杂质效应,有利于提高薄膜的电阻稳定性.增加保护薄膜可阻止外界环境中水汽等对薄膜的影响,阶梯升温方式有利于薄膜残余应力的充分释放,可提高薄膜电阻的稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓勇生		2	3	1.0	1.0
2	戚云娟		1	2	1.0	1.0