深入理解光学检漏:漏率计算及其他

• 作者: 肖汉武 葛秋玲
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检漏 气密性 漏率计算公式
• 年，卷（期）: 2018,（7）
• 所属期刊栏目: 封装、组装与测试
• 页码范围: 7-11
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.94
• 字数: 5747字
• 语种: 中文

摘要

光学检漏(OLT)是借助先进的数字电子全息照相干涉测量技术,实现同步完成传统气密封装的细检漏、粗检漏过程的一项新型检漏技术.重点介绍了光学检漏漏率计算公式的推导过程,并对光学检漏测量数据的准确性、光学检漏方法的优缺点等进行了比较和讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	葛秋玲		8	38	4.0	6.0
2	肖汉武		7	10	3.0	3.0