体声波谐振器MASON模型改进的方法

• 作者: 贾乐 韩超 高杨
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 体声波谐振器 Mason模型 损耗机制 模型改进 寄生参数
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 页码范围: 352-355,361
• 页数: 5页
• 分类号: TN713+.2
• 字数: 2135字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2018.03.012

摘要

为了更精确的模拟薄膜体声波谐振器(FBAR)特性,提出了一种改进FBAR Mason模型的方法.首先采用有限元仿真法将FBAR压电层的机械损耗和介质损耗考虑在内进行仿真.得到的导纳曲线数据利用等效介电常数法导入FBAR的电磁模型中,可以模拟FBAR电极的欧姆损耗和引线损耗等,仿真得到FBAR的阻抗曲线.通过阻抗曲线拟合的方式提取 MBVD模型参数.借鉴 MBVD模型参数改进FBAR 的 Mason模型.对比拟合结果发现,FBAR电磁模型的仿真结果在串联谐振点处向左偏移.推测是由于电磁模型中引入寄生参数,故在改进的 Mason模型中加入寄生电感参数后仿真,此时仿真所得的FBAR阻抗特性曲线与电磁模型仿真结果曲线吻合,验证了猜想,且得到了较精确的FBAR Mason模型.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
5	贾乐	西南科技大学信息工程学院	9	12	2.0	2.0
6	韩超	西南科技大学信息工程学院	11	14	2.0	3.0