石墨的微加工工艺研究

• 作者: 文东辉 杨兴 章城 郑天祥
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 石墨 微机电系统 微纳米技术 薄膜沉积 光刻 刻蚀
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 纳米技术
• 页码范围: 127-131
• 页数: 5页
• 分类号: TM242|TB742
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2018.02.09

摘要

石墨具有固态超滑和耐酸、耐碱和耐有机溶剂腐蚀等特性,使其有望成为微机电系统(MEMS)基础材料的一种选择.如能通过微纳米加工工艺对石墨进行微加工并在石墨上大批量、稳定、可控地制备各种掩模图案和石墨微结构,一定程度上可以推动石墨成为MEMS基础材料.故本文通过工艺设计和参数摸索,利用薄膜沉积、光刻、刻蚀等常用的微纳米加工工艺对石墨进行微加工研究,并对加工后的石墨进行表征.结果表明,利用薄膜沉积技术在石墨表面沉积的薄膜可以满足后续光刻和刻蚀等工艺的要求.同时,采用光刻技术能在石墨表面大批量、稳定、可控地加工出不同形状,不同尺寸的光刻胶掩模图案.此外,利用刻蚀技术可以在石墨上大批量、稳定、可控地加工出形状较规则,排列整齐且垂直度较高的石墨微结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	文东辉	浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室	58	714	12.0	25.0
2	杨兴	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	15	120	3.0	10.0
3	郑天祥	全球能源互联网研究院先进输电技术国家重点实验室	4	3	1.0	1.0
4	章城	浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室	5	10	2.0	3.0