大气压介质阻挡放电等离子体辅助原子层沉积氧化铝阻隔膜

• 作者: 周美丽 秦莹莹 郭红革 陈强 魏海英
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 原子层沉积 聚对苯二甲酸乙二醇酯 氧化铝 水蒸气透过率
• 年，卷（期）: 2018,（z2）
• 所属期刊栏目: 材料表面技术与连接技术
• 页码范围: 311-314
• 页数: 4页
• 分类号: TQ326.9
• 字数: 3040字
• 语种: 中文

摘要

为了研究纳米氧化铝对双向拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜(BOPET)阻隔性能的影响,利用自行设计加工的大气压介质阻挡放电(DBD)等离子辅助原子层沉积(PAALD)设备,使用三甲基铝(TMA)和氧气等离子体(O2)在厚度为120 μm的BO-PET上生长氧化铝(Al2O3)无机层.采用椭圆偏振仪、原子力显微镜、红外光谱仪、X射线光电子能谱分析和透湿仪等分别对氧化铝薄膜的厚度、表面形貌、成分和水蒸气透过率等进行测量和表征.结果 表明,大气压DBD等离子体辅助沉积Al2O3薄膜具有ALD生长特性,生长速率为0.27 nm/周期,高于在低压下由等离子体辅助ALD沉积的Al2O3的生长速率;生长的氧化铝薄膜结构致密、表面粗糙度小,薄膜成分较纯;其水蒸气透过率(WVTR)由PET原膜的3.17 g/(m2·d)低至0.05 g/(m2·d).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈强	北京印刷学院印刷与包装工程学院	125	542	10.0	17.0
2	郭红革	齐鲁工业大学印刷与包装工程学院	5	1	1.0	1.0
3	秦莹莹	齐鲁工业大学印刷与包装工程学院	2	0	0.0	0.0
4	周美丽	山东工艺美术学院视觉传达设计学院	14	9	1.0	2.0
5	魏海英	齐鲁工业大学印刷与包装工程学院	3	1	1.0	1.0