SEM原位压痕仪实验技术的创新与拓展

• 作者: 耿红霞
• 来源期刊: 实验室科学
• 学科: 工学
• 关键词: SEM原位压痕仪 划痕实验 实验技术创新
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 实验技术
• 页码范围: 65-67,71
• 页数: 4页
• 分类号: T-19
• 字数: 1681字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4305.2018.05.018

摘要

SEM原位压痕仪可以进行定量微纳米力学测试并同步获取SEM成像,两项技术耦合可以实现精确定位和整个测试过程中变形成像.在上述技术基础上进行技术创新与改进,拓宽了原位压痕仪技术应用范围,修改了部分代码并调整实验方法,实现了定性的划痕实验,并针对大变形软材料扩大了其位移量程,使原位压痕仪的使用功能更加广泛.该创新技术为科研工作和学生培养发挥了重要作用,提供了更完善的技术支持和保障,同时,该技术成果提高了SEM原位压痕仪设备的应用水平,对高水平实验室的技术建设起到了促进作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	耿红霞	清华大学航天航空学院	11	54	4.0	7.0