RF MEMS开关的电磁性能仿真分析

• 作者: 宋滔 赵治国 马谢
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 射频微系统 电磁仿真 建模
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 页码范围: 475-478
• 页数: 4页
• 分类号: TM564
• 字数: 2636字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2018.03.036

摘要

射频微系统是一种传感器、激励器、微机械、微电子的集成,由亚毫米级的移动部件组成,并能够提供射频功能.该文对并联式射频微系统开关展开了建模和电磁分析,通过 CoventorWare 建模,利用 ANSYS HFSS电磁仿真,分析了不同主要结构参数对典型并联式射频开关电磁性能的影响,总结了不同上电极薄膜宽度、绝缘层厚度等参数对电磁性能的影响趋势:开关的隔离度随上电极宽度的增加而增大,绝缘层厚度的增大能够减小开关的反射损耗,但同时会增加开关的开启电压.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋滔		23	55	4.0	6.0
2	马谢		9	1	1.0	1.0
3	赵治国		1	0	0.0	0.0