CO2作为单一气相碳氧源制备碳掺杂钛氧薄膜的成分结构性能研究

• 作者: 文峰 曹华堂 魏博
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 反应磁控溅射 Ti-O薄膜 碳掺杂 气相碳氧源 力学性能
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 页码范围: 528-533,538
• 页数: 7页
• 分类号: O782
• 字数: 3019字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2018.03.013

摘要

采用单极脉冲反应磁控溅射,以CO2作为单一气相碳源和氧源,通过控制反应气体流量,制备了碳掺杂钛氧(C∶Ti-O)薄膜.通过原子力显微镜,拉曼光谱和X射线光电子能谱对薄膜的表面形貌、结构和成分进行了表征,利用紫外可见-分光光度计得到了薄膜的透射光谱并用Tauc作图法计算薄膜的带隙宽度,用纳米力学系统测试了薄膜的力学性能.结果表明,随着CO2流量的增大,沉积速率呈先增大后减小的趋势.制备的薄膜主要以金红石相存在,并存在少量锐钛矿相和TiO.C的掺入使得C∶Ti-O薄膜的带隙宽度有不同程度的降低,薄膜硬度也有所提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	文峰	海南大学材料与化工学院热带岛屿资源先进材料教育部重点实验室	13	108	4.0	10.0
3	魏博	海南大学材料与化工学院热带岛屿资源先进材料教育部重点实验室	1	1	1.0	1.0
6	曹华堂	格罗宁根大学科学与工程学院	1	1	1.0	1.0