用于光谱控制的棱镜扩束装置精密装调特性分析

• 作者: 周翊 王倩 赵江山
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光器 准分子激光器 窄线宽 棱镜扩束器 装调误差
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 激光物理
• 页码范围: 99-103
• 页数: 5页
• 分类号: TN248
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201845.0401012

摘要

线宽压窄模块是光刻用准分子激光器的重要组成部分.线宽压窄模块中棱镜组及光栅的装配角度直接影响系统输出特性.为了进一步改进准分子激光器线宽压窄模块工程化安装与调试工艺,研究了棱镜扩束器中棱镜角度偏差对系统线宽及能量的影响.通过理论推导及实验验证,分析了单个棱镜角度偏转对准分子激光系统线宽及能量的影响,确定了每个棱镜的装调误差;实验结果与理论分析结果基本符合.根据确定的装调误差优化设计线宽压窄模块的装调方法,对模块的光谱控制工程化具有一定的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王倩	中国科学院光电研究院	85	578	12.0	22.0
2	周翊	中国科学院光电研究院	19	49	4.0	6.0
3	赵江山	中国科学院光电研究院	7	39	2.0	6.0