磁控溅射Nb掺杂TiO2薄膜的研究

• 作者: 姚志强 林钰 苏雷生 辛荣生
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁控溅射 Nb掺杂 TiO2薄膜 结构 光电性能
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 521-526
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2018.06.13

摘要

用射频/直流溅射法研制了铌掺杂TiO2透明导电薄膜.实验结果表明:Nb以正五价态掺入TiO2品格中,随着Nb掺杂量的逐渐增加,薄膜的电阻率出现先降后升的变化,在掺杂溅射功率为40 W时,薄膜电阻率降至7.3×10-4Ω·cm,可见光透过率高达86％以上.并且,Nb掺杂使TiO2薄膜的吸收限产生了蓝移,随着Nb掺杂量的增加,薄膜蓝移程度逐渐增大,说明该TiO2薄膜为n型掺杂.研究认为,控制Nb掺杂量达最佳时,使晶格中产生较多的载流子,以及良好晶体结构产生较大的载流子迁移率,能使Nb掺杂TiO2透明导电薄膜的性能参数得到有效改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林钰	河南教育学院化学系	34	267	9.0	15.0
2	辛荣生	郑州大学材料科学与工程学院	27	246	9.0	14.0
3	姚志强	郑州大学材料科学与工程学院	3	10	2.0	3.0
4	苏雷生	郑州大学材料科学与工程学院	4	6	2.0	2.0