用于位相缺陷检测的反射式剪切点衍射干涉仪

• 作者: 刘一鸣 朱文华 陈磊 马云
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉测量 瞬态测量 点衍射 位相缺陷 无镜成像
• 年，卷（期）: 2018,（12）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2873-2880
• 页数: 8页
• 分类号: O436.1|TH744.3
• 字数: 3268字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20182612.2873

摘要

为了实现光学元件位相缺陷的大视场、高分辨率、瞬态检测, 设计了一种基于无镜成像算法的反射式剪切点衍射干涉仪.该干涉仪通过在参考光与测试光之间引入横向错位量, 形成高密度线性载频, 利用快速傅里叶变换算法从单幅干涉图中提取待测波面信息, 实现缺陷的瞬态测量.利用无镜成像算法抑制了缺陷的衍射效应, 总结了有效的缺陷类型辨别方法.实验检测了强激光系统中的一块光学平晶, 验证了所提缺陷类型判据的正确性.此外, 采用反射式剪切点衍射干涉仪对一块激光毁伤的光学平板进行检测, 测试结果与Veeco NT9100白光干涉仪测量结果相比, 相对误差为2.1％.结果表明, 该干涉仪能够有效应用于检测大口径光学元件的位相缺陷.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈磊	南京理工大学电子工程与光电技术学院	133	991	16.0	23.0
2	刘一鸣	南京理工大学电子工程与光电技术学院	5	27	2.0	5.0
3	朱文华	南京理工大学电子工程与光电技术学院	22	28	3.0	4.0
4	马云	南京理工大学先进发射协同创新中心	4	3	1.0	1.0