半导体激光自混合干涉加速度计测试技术研究

• 作者: 倪小琦 夏巍 江海清 王鸣 郝辉 郭冬梅
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 自混合干涉 ACCELEROMETERS-TESTING加速度计测试 条纹计数法 贝塞尔函数零值法 SEN-SITIVITY灵敏度
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 激光应用与系统
• 页码范围: 40-45
• 页数: 6页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.14016/j.cnki.jgzz.2018.04.040

摘要

提出了一种基于激光自混合干涉的加速度计测试技术.自混合干涉系统的外腔反射靶面和待测加速度计均固定于一个激振器振动端.根据不同的振动频率,分别采用条纹计数法或贝塞尔零值法从自混合干涉信号中解调加速度信息.对商用加速度计多组测试结果表明,利用该装置测得的加速度计灵敏度在同一频率下保持相对恒定的值,其灵敏度最大波动范围不超过0.02mv/(m/s2).该测试系统具有结构简单紧凑,成本低等特点,在工业上有一定的应用前景.