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摘要:
溅射对圆柱形阳极层霍尔推进器的稳定运行和寿命具有不可忽视的影响.为了研究D-80空心内磁极圆柱形阳极层霍尔推进器的磁极溅射程度,建立了D-80圆柱形阳极层霍尔推进器的三维全粒子PIC/MCC模型,利用VORPAL仿真软件对D-80圆柱形阳极层霍尔推进器放电-溅射过程进行了仿真,得到了离子轰击到内、外磁极上的入射能量,入射角度的概率分布,分析了溅射粒子在不同放电功率、磁场和气压下的变化规律.仿真结果表明:离子溅射全部发生在内、外磁极的表面上,轰击内磁极的离子能量平均值和入射角都小于轰击外磁极的离子入射能量和入射角,但内磁极的内、外径表面上溅射程度最严重,与实验中磁极溅射形貌一致;高放电电压和高气压下,溅射程度更严重,并且与实验结果一致.
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文献信息
篇名 空心内磁极圆柱形阳极层霍尔推进器溅射仿真
来源期刊 真空科学与技术学报 学科 物理学
关键词 阳极层霍尔推进器 仿真 入射离子 溅射粒子
年,卷(期) 2018,(10) 所属期刊栏目 等离子体技术
研究方向 页码范围 875-882
页数 8页 分类号 O462.5|O532.11
字数 语种 中文
DOI 10.13922/j.cnki.cjovst.2018.10.09
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 唐德礼 35 180 7.0 12.0
2 赵杰 20 53 5.0 7.0
3 张帆 10 6 2.0 2.0
4 李平川 12 6 2.0 2.0
5 耿少飞 17 42 5.0 6.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
阳极层霍尔推进器
仿真
入射离子
溅射粒子
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研究分支
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真空科学与技术学报
月刊
1672-7126
11-5177/TB
大16开
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