柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制装置的研究

• 作者: 任丹 关仁鹤
• 来源期刊: 玻璃
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性镀膜 薄膜平整度 在线控制
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 所属期刊栏目: 玻璃深加工
• 页码范围: 49-51
• 页数: 3页
• 分类号: TQ171
• 字数: 1983字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1987.2018.09.014

摘要

ITO(氧化铟锡)导电薄膜广泛应用于手机、平板、车载导航等触摸屏,其主要采用卷对卷真空磁控溅射设备制备而成.现在对轻、薄的要求越来越高,这就增加了卷对卷生产中比较薄的PET(23 μm厚度以下)平整度控制难度,故设计出一种柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制的装置,并已在产线成功使用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	关仁鹤		3	4	2.0	2.0
2	任丹		5	4	2.0	2.0