一种提高光电倍增器光电阴极量子效率的方法

• 作者: 党向瑜
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 光电倍增管 光电阴极 量子效率 镀膜 细管 光谱响应
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 221-224
• 页数: 4页
• 分类号: TN152
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2018.02.016

摘要

提出了一种可以提高光电倍增管光电阴极量子效率的方法.通过分析光电阴极的光电发射过程,从提高光子吸收率Pa和光电子迁移至真空一侧材料表面的几率Pe出发,确定可以在光电阴极膜层结构设计上增加合适的膜层,该膜层具有高带隙和减反射的作用.由于光电倍增管的外壳通常为细长的玻璃管,而常规的溅射设备为φ50mm的大靶,直接使用大靶对细管内部镀膜,效率低下且均匀性差.在常规大靶的基础上进行改造,成功实现了在细管内部快速均匀镀膜.使用分光设备测试光电阴极的光谱响应,结果表明,改进产品的光电阴极量子效率从常规的25％提高至35％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	党向瑜	北京滨松光子技术股份有限公司电子管部	2	0	0.0	0.0