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摘要:
用分子束外延技术将高灵敏度的InAs/AlSb量子阱结构的Hall器件赝配生长在GaAs衬底上.设计了由双δ掺杂构成的Hall器件的新结构,有效地提高了器件的面电子浓度.与传统的没有掺杂的InAs/AlSb量子阱结构的Hall器件相比,室温下器件电子迁移率从15000 cm2·V-1·s-1提高到16000 cm2·V-1·s-1.AFM测试表明材料有好的表面形态和结晶质量.从77 K到300 K对Hall器件进行霍尔测试,结果显示器件不同温度范围有不同散射机构.双δ掺杂结构形成高灵敏度、高二维电子气(2DEG)浓度的InAs/AlSb异质结Hall器件具有广阔的应用前景.
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文献信息
篇名 高灵敏度Sb基量子阱2DEG的霍尔器件
来源期刊 发光学报 学科 工学
关键词 霍尔器件 量子阱 双δ掺杂 分子束外延
年,卷(期) 2018,(5) 所属期刊栏目 器件制备及器件物理
研究方向 页码范围 687-691
页数 5页 分类号 TN305|TN382
字数 520字 语种 中文
DOI 10.3788/fgxb20183905.0687
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 苗瑞霞 西安邮电大学电子工程学院 14 2 1.0 1.0
2 商世广 西安邮电大学电子工程学院 18 41 3.0 5.0
3 武利翻 西安邮电大学电子工程学院 11 17 2.0 3.0
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研究主题发展历程
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量子阱
双δ掺杂
分子束外延
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