SUS304不锈钢管内壁类金刚石碳基薄膜的制备及其腐蚀、摩擦学性能

• 作者: 崔明君 张广安 张铭炯 王福 鲁志斌
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石碳基薄膜 SUS304不锈钢管 空心阴极等离子体增强化学气相沉积 腐蚀性能 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2018,（11）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 1-5,11
• 页数: 6页
• 分类号: TG178
• 语种: 中文

摘要

金属管内壁常规等离子体化学气相沉积类金刚石碳基(DLC)薄膜的耐腐蚀性能及摩擦学性能差,以空心阴极法等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术在SUS304不锈钢管内壁制备了DLC薄膜.采用现代表面分析技术,评价了DLC薄膜的微观结构、力学性能、耐腐蚀性能和摩擦学性能.结果表明:采用空心阴极PEVCD法制备DLC薄膜,沉积速率高达14 μm/h,膜厚为11～14 μm,硬度为13～15 GPa;DLC薄膜的腐蚀电流密度比SUS304不锈钢管内壁低3个数量级,且随调制周期数增加呈降低趋势;720 h盐雾腐蚀DLC薄膜表面未出现蚀坑,SUS304不锈钢管内壁则出现了锈斑;DLC薄膜在空气、去离子水及PAO润滑油中的摩擦系数和磨损率均大幅低于SUS304不锈钢管内壁;采用空心阴极PECVD法在SUS304不锈钢管内壁制备的DLC薄膜具有优异的耐腐蚀性能和摩擦学性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张广安	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	29	137	7.0	10.0
2	王福	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	11	42	4.0	6.0
3	张铭炯	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
7	崔明君	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	2	5	1.0	2.0
11	鲁志斌	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	6	6	1.0	2.0