制备工艺对掺杂NaYF4:Er3+,Yb3+发光纳米晶的聚合物光波导放大器性能的影响

• 作者: 张大明 张美玲 王希斌 王菲 邢桂超 黄雅莉
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 波导放大器 NaYF4:Er3+,Yb3+纳米粒子 聚合物
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 681-686
• 页数: 6页
• 分类号: O482.31
• 字数: 2985字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20183905.0681

摘要

制备了NaYF4:Er3+,Yb3+纳米晶,表征了纳米晶的形貌,通过物理掺杂的方式将纳米粒子掺杂到SU-8中作为光波导放大器的芯层材料,优化了波导放大器的尺寸,利用旋涂、刻蚀等工艺,在二氧化硅衬底上制备了光波导放大器.实验中用光漂白法和湿法刻蚀两种方法制备光波导放大器,分别给出了两种方法制备的器件的结构、工艺流程、光场模拟结果,并对两种方法制备的器件的放大特性进行了测试.测试结果表明,当980 nm波长的泵浦光功率为241 mW且1550 nm波长的信号光功率为0.1 mW时,使用湿法刻蚀法制备的放大器得到2.7 dB的相对增益.当980 nm波长的泵浦光功率为235 mW且1550 nm波长的信号光功率为0.1 mW时,使用光漂白法制备的放大器得到4.5 dB的相对增益.根据以上测试结果,分析了两种工艺对器件性能的影响.