基于二维光学点阵形变的面形测量

• 作者: 凌秋雨 查日东 胡小唐 胡春光 胡晓东
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 面形测量 高精度反射镜 光学点阵 激光三角法
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量与计量
• 页码范围: 162-168
• 页数: 7页
• 分类号: TH741
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201838.0112003

摘要

反射镜是光学仪器的核心元件,其面形的精密测量一直是研究领域的重要内容.利用光场调控产生大小灵活可变的空间周期性分布的光学点阵,并提出了一种基于二维光学点阵形变实现面形快速测量的方法.结合几何光学和空间三维变换理论,建立了二维光学点阵几何形变量与反射镜三维面形的数学关联模型,并提出了基于点阵质心的面形重构算法,研究分析了测量方法的测量范围和单像素点分辨率,并对反射镜进行了多倾角的实验测试,实现了对直径为10.5 mm的反射镜的亚微米级的测量.通过将测试数据与商用干涉仪的测量数据进行比较,验证了所提方法的可行性.该方法具有测量精度高、速度快和适应强等特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐		205	1913	21.0	33.0
2	胡春光		37	333	10.0	16.0
3	胡晓东		86	712	15.0	23.0
4	凌秋雨		2	7	1.0	2.0
5	查日东		2	7	1.0	2.0