微细电铸制造技术的研究进展

• 作者: 姜新东 孟礼 张华 房佳恒
• 来源期刊: 电镀与涂饰
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微细加工 电铸 超声波 磁场 超临界流体 综述
• 年，卷（期）: 2018,（13）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 592-597
• 页数: 6页
• 分类号: TQ153.6
• 字数: 2884字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19289/j.1004-227x.2018.13.008

摘要

介绍了微细电铸技术的基本原理,阐述了超声微细电铸、磁电微细电铸、超临界微细电铸和屏蔽模板随动式微细电铸这4种新型制造工艺的原理及研究进展,指出了今后的研究重点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张华	南通大学机械工程学院	51	133	7.0	9.0
2	姜新东	南通大学机械工程学院	3	2	1.0	1.0
3	房佳恒	南通大学机械工程学院	5	3	1.0	1.0
4	孟礼	南通大学机械工程学院	4	1	1.0	1.0