二等量块检定装置

• 作者: 丘卉 陈巧巧 黄万钧
• 来源期刊: 上海计量测试
• 关键词: 量块 激光干涉 不确定度
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 12-15,26
• 页数: 5页
• 字数: 3948字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2235.2018.05.005

摘要

利用激光干涉测长原理研发二等量块自动测量系统并对其进行成果验证.该装置采用633 nm碘饱和吸收稳频He-Ne激光器作为标准;硬件设计包括开发机械主体,搭建激光光路和信号处理模块,研发精密柔性定位的传感器、选配相关电机驱动和环境参数监控系统;软件研发数据采集和监控处理程序、测量结果判定及环境参数补偿软件;该装置测量范围上限100 mm,测量量块的扩展不确定度为U=0.04～0.08μm(k=3).该装置为华南地区的最高等级计量标准,对外开展长度尺寸为0.5～100 mm的二等量块检定业务.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈巧巧		3	18	2.0	3.0
5	丘卉		8	4	1.0	2.0
9	黄万钧		3	1	1.0	1.0