介质层参数对表面型等离子体显示器性能优化的研究

• 作者: 孙晓东 张雄 朱笛 王莎莎 白晋军 陈力颖
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体放电 介质层 放电效率 真空紫外辐射
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 电子器件
• 页码范围: 459-464
• 页数: 6页
• 分类号: TN136
• 字数: 3064字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2018.06.04

摘要

以提高等离子体放电效率为目标,采用实验测试的方法研究了不同介质层的介电常数和厚度对着火电压、静态margin、放电效率和真空紫外辐射的影响.结果表明,适当的增加介质层参数εr/d,虽然提高了放电过程中产生的能量损失,但其同时也可以有效增强阴极区的电场和电子温度,使得放电产生的分子态VUV强度大幅上升进而带来放电发光效率的提高.因此,优化介质层参数可以作为今后提高等离子体放电效率的有效途径之一.