高透光氧化硅涂层的低温制备及微观结构调整

• 作者: 张栋 智理 柯培玲 汪爱英 陈仁德
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化硅涂层 功能装饰 透光性 力学性能
• 年，卷（期）: 2018,（8）
• 所属期刊栏目: 表面强化及功能化
• 页码范围: 51-57
• 页数: 7页
• 分类号: TG174.442
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.08.008

摘要

目的 提供一种在真空装饰领域能够广泛应用的具有防护、功能性的氧化硅涂层制备方法,为具体应用中涂层工艺参数的选择提供指导.方法 采用PECVD技术,通过改变O2与HMDSO配比,低温制备具有不同微结构的氧化硅涂层.采用扫描电镜观察涂层的表截面微观形貌,采用X射线衍射仪、傅里叶变换红外光谱仪、X射线光电子能谱仪、激光共聚焦拉曼光谱仪分析涂层的微结构及成分,采用紫外分光光度计表征涂层透光性,采用纳米压痕仪表征涂层的力学性能,采用接触角仪表征涂层的表面润湿性.结果 所制备的氧化硅涂层表面光滑,结构致密.随反应气体中O2配比的增加,涂层结构由SiO逐渐过渡为SiO2,并掺杂有少量非晶碳,其光学透过率增加,力学性能下降,亲水性增加.当碳含量最低时,涂层具有最优异的透光性及最好的亲水性,在全可见光波段范围内透过率接近100％,与水接触角为45.38°;当碳含量最高时,涂层具有最优异的力学性能,硬度为13.5 GPa,H/E为0.11.结论 采用PECVD方法能够在低温下获得光学透明、具有一定硬度、表面易清洁的氧化硅涂层,通过气体控制能够对涂层微结构及性能进行调节,从而适用于不同需求的功能装饰.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪爱英	中国科学院宁波材料技术与工程研究所海洋新材料与应用技术重点实验室	33	206	9.0	13.0
2	张栋	中国科学院宁波材料技术与工程研究所海洋新材料与应用技术重点实验室	42	316	9.0	16.0
3	柯培玲	中国科学院宁波材料技术与工程研究所海洋新材料与应用技术重点实验室	22	149	7.0	11.0
4	陈仁德	中国科学院宁波材料技术与工程研究所海洋新材料与应用技术重点实验室	4	1	1.0	1.0