高精度微孔测量探头

• 作者: 唐帅涛 李瑞君 程真英 范光照 许鹏
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 探头 微孔 刚度 重复性
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 页码范围: 598-604
• 页数: 7页
• 分类号: TB92
• 字数: 3472字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2018.05.02

摘要

对高精度探头的研究和发展进行了叙述,介绍了所研制的一款由一个二维角度传感器、一个弹性机构和一个自制的微球形钨探针组成的微孔测量探头.对探头的刚度和重复性分别进行了仿真验证和实验测试,结果表明:该探头在三维方向上的刚度均小于0.4 mN/μm,重复性均优于20 nm(k =2).最后利用该探头对一个直径为420 μm的微孔进行了实际测量,测量结果验证了该探头的实用性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程真英	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	33	193	8.0	12.0
2	李瑞君	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	26	89	6.0	8.0
3	许鹏	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	4	8	1.0	2.0
4	唐帅涛	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	2	1	1.0	1.0