Cu/Ti纳米薄膜表面形貌的分形表征研究

• 作者: 吴昊 张福政 林启敬 王琛英 蒋庄德
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 纳米薄膜 分形表征 表面形貌 功率谱
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 页码范围: 593-597
• 页数: 5页
• 分类号: TB921
• 字数: 3352字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2018.05.01

摘要

采用磁控溅射法制备了不同组分和厚度的Cu/Ti薄膜,采用原子力显微镜(AFM)测量了其表面形貌,利用功率谱法对AFM高度图像进行了分形表征.结果表明:Cu/Ti薄膜表面形貌具有多尺度行为,表面演化在全域和局域呈现出不同的标度行为;AFM图像功率谱的高频段直接体现了薄膜表面的细节信息,而低频段体现了薄膜表面背景区域的复杂程度;低频分形维数与粗糙度之间有着必然的联系,能够反应粗糙值Rs的变化趋势.