基于ZnO/SiO2/Si多层结构瑞利波的特性研究

• 作者: 张淑仪 徐静 水修基 王艳 谢英才 贾之杰
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 瑞利波 氧化锌(ZnO) 有限元仿真 相速度 机电耦合系数
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 页码范围: 231-234,239
• 页数: 5页
• 分类号: TN65
• 字数: 2047字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2018.02.020

摘要

利用射频(RF)磁控溅射法沉积(002)ZnO薄膜和SiO2薄膜于Si基底,研制(002) ZnO/IDT/SiO2/Si结构的声表面波延迟线,并通过3D有限元法仿真分析该结构所激发的瑞利波的声学特性,如相速度、机电耦合系数k2等.通过实验验证,发现二者吻合较好.分析了ZnO薄膜的厚度对瑞利波特性的影响发现,当ZnO厚为8 μm时,k2取得最大值(为3.88％).同时,分析了(110) ZnO/IDT/SiO2/Si结构所激发瑞利波的声学特性,结果显示,当ZnO薄膜的厚为8μm时,k2取得最大值(为5.5％).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王艳	南京邮电大学电子科学与工程学院	80	1166	17.0	32.0
3	张淑仪	南京大学声学研究所近代声学实验室	85	578	14.0	21.0
4	水修基	南京大学声学研究所近代声学实验室	17	139	5.0	11.0
7	徐静	南京邮电大学电子科学与工程学院	8	40	3.0	6.0
8	贾之杰	南京邮电大学电子科学与工程学院	2	3	1.0	1.0
9	谢英才	南京邮电大学电子科学与工程学院	1	2	1.0	1.0