晶体硅金刚线切割废料制备高纯氮化硅

• 作者: 孔剑 王敬强 邢鹏飞 金星 高波
• 来源期刊: 应用化学
• 学科: 化学
• 关键词: 金刚线切割废料 酸洗除杂 氮化硅 回收利用
• 年，卷（期）: 2018,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1364-1371
• 页数: 8页
• 分类号: O613.7
• 字数: 3240字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11944/j.issn.1000-0518.2018.11.170414

摘要

以晶体硅金刚线切割废料为原料,通过氮化反应制得氮化硅,既回收了金刚线切割废料,又解决了环境污染的问题.通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线能量色谱仪(EDS)等技术手段研究了原料经HCl和HF酸洗净化后制备氮化产物的物相组成、组分质量分数和微观形貌的影响.结果表明,HCl酸洗后切割废料制备的氮化产物中主要物相为Si2 N2 O和Si3 N4,而HF酸洗后切割废料制备的氮化产物中主要物相为Si3 N4.氮化产物中Si2 N2 O的形成与切割废料中SiO2的质量分数有关,降低原料中SiO2的质量分数是切割废料经过高温氮化制得氮化硅的前提.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高波	东北大学材料科学与工程学院	32	279	9.0	15.0
2	邢鹏飞	东北大学材料科学与工程学院	60	156	6.0	11.0
3	王敬强	东北大学材料科学与工程学院	5	13	2.0	3.0
4	金星	东北大学材料科学与工程学院	10	9	1.0	3.0
5	孔剑	东北大学材料科学与工程学院	8	8	1.0	2.0