基于共振光隧穿效应的角加速度传感器设计

• 作者: 李慧明 桑胜波 段倩倩 王雷阳 菅傲群 邹璐
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 角加速度传感器 共振光隧穿效应 灵敏度 品质因数
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 页码范围: 684-687
• 页数: 4页
• 分类号: TB934
• 字数: 2454字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2018.05.16

摘要

阐述了一种基于共振光隧穿效应的角加速度传感器的设计方法,分析了其传感特性,并以共振光隧穿理论为基础,利用Mathematica软件进行了仿真分析.该加速度传感器的品质因数可以达到1.96×108,远高于经典F-P腔的品质因数8.183×104.灵敏度可以达到0.1°/nm.