相变区硅薄膜拉曼和红外光谱分析

• 作者: 丛日东 于威 傅广生 杨彦彬 范闪闪 郭强
• 来源期刊: 光谱学与光谱分析
• 学科: 物理学
• 关键词: 相变区硅薄膜 拉曼光谱 红外光谱
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 页码范围: 82-86
• 页数: 5页
• 分类号: O433.4
• 字数: 4966字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3964/j.issn.1000-0593(2018)01-0082-05

摘要

采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术制备了一系列不同氢稀释率下的硅薄膜,采用拉曼散射光谱和傅里叶红外光谱技术研究了非晶/微晶相变区硅薄膜的微观结构变化,将次晶结构(paracrystal-line structure)引入到非晶/微晶相变区硅薄膜结构中,提出了次晶粒体积分数(fp),用来表征硅薄膜中程有序程度.结果表明,氢稀释率的提高导致硅薄膜经历了从非晶硅到微晶硅的相变过程,在相变区靠近非晶相的一侧,硅薄膜表现出氢含量高、结构致密和中程有序度高等特性,氢在薄膜的生长中主要起到表面钝化作用.在相变区靠近微晶相的一侧,硅薄膜具有氢含量低、晶化率高和界面体积分数小等特性,揭示了氢的刻蚀作用主控了薄膜生长过程.采用扫描电子显微镜对样品薄膜的表面形貌进行分析,验证了拉曼散射光谱和傅里叶红外光谱的分析结果.非晶/微晶相变区尤其是相变区边缘硅薄膜结构特性优良,在太阳能电池应用中适合用作硅基薄膜电池本征层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于威	河北大学物理科学与技术学院河北省光电信息材料重点实验室	91	346	9.0	13.0
2	郭强	河北大学物理科学与技术学院河北省光电信息材料重点实验室	26	85	6.0	7.0
3	范闪闪	河北工业大学电子信息工程学院	5	2	1.0	1.0
7	丛日东	河北大学物理科学与技术学院河北省光电信息材料重点实验室	7	10	2.0	3.0
8	杨彦彬	河北大学物理科学与技术学院河北省光电信息材料重点实验室	1	1	1.0	1.0