半导体器件测试系统脉冲电流校准装置及校准方法研究

• 作者: 瞿明生
• 来源期刊: 计量与测试技术
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体器件测试 脉冲电流校准 校准装置 校准方法
• 年，卷（期）: 2018,（10）
• 所属期刊栏目: 计测仪器科研与实践
• 页码范围: 21-23
• 页数: 3页
• 分类号: TN
• 字数: 2843字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15988/j.cnki.1004-6941.2018.10.007

摘要

本文对半导体器件测试系统的组成和工作原理进行了简单介绍,并对其脉冲电流校准的难点进行了分析.根据脉冲电流测试的工作原理,用9230A系列精密电流分流器和34411A型数字多用表组建了校准装置.通过9230A系列精密电流分流器将脉冲电流转化为脉冲电压,在34411A型数字多用表的直流电压测量功能下,用其内部电平触发功能,实现脉冲电压的精确测量,解决了半导体器件测试系统脉冲电流校准的难题.研究和实践表明,本校准装置简单可靠、方便实用、满足脉冲电流量值传递要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	瞿明生		8	1	1.0	1.0