光压加速度计光斑位置检测技术研究

• 作者: 冉龙俊 宋来亮 解春辉
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 光压加速度计 小角度折射 四象限探测器 Boltzmann函数 协同拟合
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 光电系统
• 页码范围: 234-238,242
• 页数: 6页
• 分类号: TH824.8
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2018.02.019

摘要

光压加速度计(LFA)是一种新型光学惯性传感器,LFA系统分为微球悬浮与捕获、位置检测、光学闭环与加速度值输出三个模块,其中位置检测的精度对整个LFA系统的性能起着至关重要的作用.简述了LFA的工作原理以及光斑获取方法,提出了一种小角度折射光斑获取方法,有效地减小了由于微球表面畸形所造成的检测误差;在光斑位置检测方面,采用四象限探测器(QD)作为光斑位置检测元件,在经典几何近似法的基础上,引入了Boltzmann函数模型,提出了一种新型的协同拟合算法,有效地减小了检测误差.实验结果表明,新型的协同拟合算法相比单一的几何近似法,检测误差减小约56％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	解春辉	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	1	0	0.0	0.0
2	宋来亮	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	14	51	5.0	7.0
3	冉龙俊	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	5	23	2.0	4.0