稀土元素Er掺杂AlN的压电性能

• 作者: 杨成韬 泰智薇 胡现伟 谢易微
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: ErxAl1-xN 压电性能 晶体结构 第一性原理 掺杂改性
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 页码范围: 822-824,828
• 页数: 4页
• 分类号: TN65|TM135|TB43
• 字数: 2807字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2018.06.003

摘要

采用第一性原理密度泛函理论法研究了纤锌矿结构AlN中掺杂不同含量Er后的晶体结构和压电性能.计算结果表明,随着掺杂Er原子数比x由0增加到25％,ErxAl1-xN晶体的晶胞参数、晶胞体积和键长显著增大,压电性能得到提升.当x=25％时,ErxAl1-xN体系的压电常数d33为8.67 pC/N,比纯AlN提高了79.5％,为未来AlN压电薄膜材料研究领域提供了更多可选材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨成韬	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	67	255	8.0	12.0
2	谢易微	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	3	1	1.0	1.0
3	泰智薇	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	2	1.0	1.0
4	胡现伟	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	2	1.0	1.0