无人飞行器电传操纵系统的MEMS加速度计零偏特性研究

• 作者: 刘洋 尹君 张秘 王晓浩 钟伦超 钟磊 鲁信琼
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS加速度计 机械零位 零偏 最小二乘法
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 41-45
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1|TN707
• 语种: 中文
• DOI: 10.19651/j.cnki.emt.0180011

摘要

零偏是研究MEMS加速度计的重要性能指标之一.通过对给定的加速度计进行大量实验得出其零偏的随机误差特性、温度特性、大过载环境下的变化规律,解算出MEMS加速度计的零偏、零偏稳定性、零偏重复性,得出该加速度计具有较好的稳定性能,为零偏补偿提供保障.建立零偏温度模型,在不同温度下进行零偏温度补偿实验,通过最小二乘法拟合得到MEMS加速度计的温度标度因数和温度零偏.实验结果表明,该补偿方法操作简便,能够有效补偿温度引起的MEMS加速度计测量误差,具有较强的工程使用价值.补偿后进行大过载环境下的实验研究,结果表明MEMS惯性器件重新稳定的时间在1～2 s之间,大过载环境对MEMS惯性器件零偏影响很小,再次验证了该补偿方法的可行性.